采用德國進口真空泵； 真空腔上部帶波形紅外輔助加熱；
真空區(qū)可實時監(jiān)測溫度及真空度；
三段式獨立運輸，軌道自動調(diào)寬系統(tǒng)；
專利熱風(fēng)結(jié)構(gòu)，控溫精準(zhǔn)；
適用于半導(dǎo)體車規(guī)級等低空洞率場合。
